공대 공동시험소
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Variable Pressure Scanning Electron Microscope
고성능주사전자현미경
  • 호실
    105호
  • 제조사(모델)
    Hitachi (SU3900)
  • 이메일
    rfc@jbnu.ac.kr
  • 연락처
    063-270-3692
예약/신청하기
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신청가능 시간
09:30 - 16:30 09:30 - 17:30 09:30 - 17:30 09:30 - 17:30 09:30 - 16:30 X X
점심시간 이용불가 : 11:30 ~ 13:30
원리 및 특성

직접사용, 교육이 필요하신 경우 미리 연락주시기 바랍니다.

Users use SEM themselves. (Please contact us in advance if training is required.)

당일예약은 미리 전화하고 예약하기 바랍니다. 승인 안될경우 사용불가입니다.

For same-day reservations, please call in advance and make a reservation. If not approved, it cannot be used.

 

1. 일반광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세영역을 확대하여 표면구조 및 형태를 확인이 가능하여, 모든 과학 분야에서 표면 분석을 위해 활용되는 장비이다.

 

2. 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역에 조사할 때 시료표면에서 발생되는 각종 정보들을 검출기를 이용하여 LCD로 영상을 표시하는 기능을 가지고 있다.

규격

이차전자상 분해능:    3.0nm (가속전압:30kV、고진공 모드), 15.0nm (가속전압:1kV、고진공 모드)
반사전자상 분해능:    4.0nm (가속전입:30kV、저진공 모드)
가속전압:    0.3~30kV
배율: ×5~×300,000(사진 배율)、×7~×800,000 (실표시 배율)
Sample stage: X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:5~65mm、T:-20°~90°、R:360°
최대 탑재 가능 Sample 크기:    300mmØ
최대 관찰 가능 범위: 200mmØ (R병용)
최대Sample 두께: 130mm(WD=10mm)

적용(응용)분야

1)각종 시료(금속, 세라믹, 반도체, 광물, 생물시료 등)의 이미지 관찰, 조성원소 정성 및 정량분석
2)특정영역의 원소분포(X-ray mapping)와 직선상의 원소분포(Line Analysis) 측정

사용료

해당 요금은 공과대학 회원 기준으로 교내 150%, 교외 200%로 부과됩니다.
 

분석항목 단가(직접사용) 단가(분석의뢰) 단위 비고
촬영성분분석
30,000원
시간
관련자료


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