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09:30 - 16:30 | 09:30 - 17:30 | 09:30 - 17:30 | 09:30 - 17:30 | 09:30 - 16:30 | X | X |
직접사용, 교육이 필요하신 경우 미리 연락주시기 바랍니다.
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1. 일반광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세영역을 확대하여 표면구조 및 형태를 확인이 가능하여, 모든 과학 분야에서 표면 분석을 위해 활용되는 장비이다.
2. 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역에 조사할 때 시료표면에서 발생되는 각종 정보들을 검출기를 이용하여 LCD로 영상을 표시하는 기능을 가지고 있다.
이차전자상 분해능: 3.0nm (가속전압:30kV、고진공 모드), 15.0nm (가속전압:1kV、고진공 모드)
반사전자상 분해능: 4.0nm (가속전입:30kV、저진공 모드)
가속전압: 0.3~30kV
배율: ×5~×300,000(사진 배율)、×7~×800,000 (실표시 배율)
Sample stage: X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:5~65mm、T:-20°~90°、R:360°
최대 탑재 가능 Sample 크기: 300mmØ
최대 관찰 가능 범위: 200mmØ (R병용)
최대Sample 두께: 130mm(WD=10mm)
1)각종 시료(금속, 세라믹, 반도체, 광물, 생물시료 등)의 이미지 관찰, 조성원소 정성 및 정량분석
2)특정영역의 원소분포(X-ray mapping)와 직선상의 원소분포(Line Analysis) 측정
해당 요금은 공과대학 회원 기준으로 교내 150%, 교외 200%로 부과됩니다.
분석항목 | 단가(직접사용) | 단가(분석의뢰) | 단위 | 비고 |
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촬영성분분석 | 30,000원 |
시간 |